什么是紫外线臭氧清洗？

紫外线臭氧清洗通过照射能量比作为污染物的有机化合物的结合能更强的紫外线来分解有机化合物。

同时，通过紫外线照射到大气（含氧的环境气体）中，产生臭氧（O3）和激发的活性氧（O）。

活性氧具有强的氧化能力，立即与未结合的有机化合物发生氧化反应，产生简单的分子如CO2、H2O、O2等，从表面挥发并去除（清洁）掉。

与使用清洗液的湿法清洗不同，UV臭氧清洗可以减少对环境的影响，并且不会像使用放电的等离子清洗那样对工件造成热或静电损坏，具有以下特点。

UV臭氧清洗一般采用低压汞灯，但也有使用氙准分子灯的方法。低压汞灯同时发射两种波长：185nm 和 254nm。

大气中的氧气吸收185nm紫外线生成臭氧，生成的臭氧进一步吸收254nm紫外线生成活性氧。

活性氧与有机化合物结合成为CO2、H2O、O2等挥发性物质而被除去。

另一方面，氙准分子灯发射的单一波长为 172nm。

它具有比低压汞灯发射的185nm更高的能量，通过直接产生臭氧和活性氧，可以保持高浓度并提高清洁力。

准分子灯使用昂贵的高纯度合成石英玻璃。

通过施加高频电压来点亮灯，灯会变热，因此需要冷却功能。

另外，由于172nm被氧气高度吸收，因此需要用惰性气体吹扫灯箱并将其吹到工件上。

准分子灯光源设备比低压汞灯光源设备具有更好的清洗能力，但设备结构较复杂，价格昂贵。