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Products1米的定义是“光在1/299,792,458秒内在真空中传播的长度"。长度测量机采用以1米定义为基础的米样作为长度的标准。直接法基于与仪表原型的比较。
基于长度定义的一种测量原理是测量光的飞行时间(ToF)。由于光传播速度如此之快,因此需要先进的电子技术。目前,许多基于激光的仪器(ToF)通常采用基于强度调制的入射光和反射光之间的相位差的测量方法。
由于我们测量的是光在真空中的行为,因此我们实际上需要对空气的折射率进行校正。激光干涉仪采用利用激光束之间干涉现象的测量方法。通过分析同一激光照射时参考面的反射光和测量面的反射光相互干涉时产生的干涉条纹,可以测量测量面与参考面之间的纳米级距离。