热传导真空计校准的具体操作步骤是什么

一、校准前准备

1. 设备与工具检查

• 确认待校准热传导真空计（以下简称 “被校计"）外观完好，热丝无断裂、松动，电路连接正常（通电后能正常显示）。

• 准备标准真空计（精度需高于被校计 1~2 个等级，如被校计允许误差 ±10%，标准计需≤±5%）、真空系统（包括真空泵、真空阀门、管道、真空规管接口）、恒温装置（控制环境温度 20±2℃，避免温度波动影响热传导）。

• 检查真空系统的气密性：关闭所有阀门，抽真空至 1Pa 以下，静置 30 分钟，压力上升率应≤0.1Pa/h（确保无泄漏）。

2. 环境与参数设定

• 校准环境需无强电磁干扰、振动（振幅＜0.1mm），相对湿度≤60%。

• 被校计与标准计需提前通电预热（按说明书要求，通常 30~60 分钟），确保电路稳定。

二、校准系统连接

1. 机械连接

• 将被校计的规管与标准计的规管通过三通或多通接口并联接入同一真空腔体（确保两者测量的是同一压力点，减少管路死体积影响）。

• 连接真空泵（如旋片泵 + 扩散泵组合，覆盖热传导真空计的量程，通常 10⁵~10⁻¹Pa），在管道中安装微调阀门（用于精确调节腔内压力）。

2. 电气连接

• 分别连接被校计与标准计的电源、信号线，确保两者正常显示压力值（若为数字式，需记录小数点后至少 3 位；指针式需估读至最小刻度的 1/10）。

三、校准点选择与压力调节

1. 确定校准点

• 覆盖被校计的全量程，按均匀分布原则选取 5~7 个点（如量程 10⁵~10⁻¹Pa，可选 10⁵Pa、10⁴Pa、10³Pa、10²Pa、10¹Pa、10⁰Pa、5×10⁻¹Pa）。

• 优先选择量程内的关键节点（如满量程的 10%、50%、90%），确保高、中、低压力段均被覆盖。

2. 调节压力至校准点

• 启动真空泵，先抽至系统极限真空（低于被校计最小量程），再通过微调阀门缓慢通入干燥氮气（或空气，需无油、无尘），逐步升高压力至第一个校准点（如 10⁵Pa，即大气压附近）。

• 稳定压力：每个校准点需保持压力波动≤±2%（如 10³Pa 校准点，波动需≤±20Pa），静置 5~10 分钟，待被校计与标准计示值稳定后再记录数据。