什么是真空泵及发展历程

工作原理：真空泵基本上可以分为气体捕集泵和气体传输泵两种类型。常见的真空泵有往复式真空泵、水环真空泵、旋片真空泵和低温泵等。其中，往复式真空泵是利用泵腔内活塞做往复式运动，将气体吸入、压缩并排出；水环真空泵是利用叶轮旋转时水形成的封闭圆环，使叶轮轮毂与水环之间形成月牙形空间，通过空间容积变化实现抽气；旋片真空泵则是通过转子旋转带动旋片，使旋片与泵壁之间的腔室容积变化来抽气；低温泵是利用低温表面捕集气体。

发展历程：真空泵最早是 1654 年由奥托・冯・居里克发明的，后来波义耳和胡克进行了大量的优化设计。1682 年，波义耳提出了双缸泵，1705 年豪克斯比制造出了进一步改进的双缸泵。19 世纪末，弗勒斯引入了气缸油泵。1912 年，盖德发明了分子泵，1915 年，盖德利用汞蒸汽射流携带的气体分子来实现高真空，这些蒸汽流泵随后得到了大规模的发展。

主要分类：按照真空度可分为低真空泵（压强大于 1.33Pa）、中真空泵（压强在 10⁻²-1.33Pa）、高真空泵（压强在 10⁻⁶-10⁻²Pa）及超高真空泵（压强小于 10⁻⁶Pa）。

应用领域：真空泵广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。例如在冶金行业中用于真空冶炼；在化工行业中用于真空蒸馏、真空干燥等；在食品行业中用于食品包装、真空冷冻等；在电子镀膜行业中用于提供高真空环境以保证镀膜质量。