FLUORO 福乐真空吸笔｜标准操作方法（京都玉崎优势供应）

先分清阀体类型，操作逻辑wan全不一样：

• NC 常闭（C001/F001）：按住按钮 = 吸气，松手 = 释放

• NO 常开（C002/F002）：一直有真空，按下按钮 = 破真空释放

• NO+SW 自锁（C003/F003）：NO 常开 + 独立锁扣，可锁定吸附不用一直手持按键

• F007 吹气款：按下按键切断真空 + 输出柔和洁净吹气，解决薄件粘片问题，需配套 FV-W 真空泵

一、操作前准备

1. 管路组装吸笔尾部接入真空软管，软管另一端接 FV 系列真空泵 / 真空发生器；检查接头拧紧不漏气；X 万向款可 360° 自由旋转，按需调整角度。

2. 外观与耗材检查查看吸嘴有无划痕、缺损、发白老化；脏污用无尘布 + 异丙醇清洁，破损直接更换吸嘴。

3. 环境与 ESD 准备C 系列防静电款：操作人员佩戴防静电手环，工作台接地，保证静电泄放通路；F 系列湿法款：确认药液工况匹配 PTFE 材质，禁止 C 系列笔身接触酸碱。

4. 真空预调试开启真空泵，调节负压至-40~-80kPa，不要超负压；堵住吸嘴测试，确认阀门吸附、释放动作正常。

二、标准取放操作

✅ NC 常闭（C001/F001，按住吸、松开放）

1. 手持笔身，吸嘴垂直、轻贴工件背面中心（晶圆 / 基板优先吸背面，避开器件、光刻胶面）；

2. 按住笔身按键，建立负压，确认工件被牢牢吸住；

3. 垂直平稳提起，平移转运，不要倾斜拖拽、摩擦工件；

4. 移动到目标位置，对准放置面；

5. 松开按键，真空断开，工件自然落下，待工件wan全落稳后，移开吸笔。

✅ NO 常开（C002/F002，常态吸附，按按键释放）

1. 真空泵开启后，吸笔常态一直通真空；

2. 吸嘴垂直轻贴工件背面，自动吸附；

3. 平稳垂直提起、转运；

4. 对位到位后，按下按键，破真空释放工件；

5. 工件落稳后松开按键，自动恢复真空，可直接拾取下一片。

✅ C003/F003 NO+SW 自锁款

• 拾取吸附后，拨动侧边锁扣，锁定真空，手可以松开按键，适合长距离转运；

• 放置时，拨动解锁或按下按键，释放工件。

✅ F007 吹气释放款

• 常态负压吸附；到位按下按键，切断真空同时喷出微量洁净气体，把粘连薄片轻轻吹离吸嘴；

⚠️ 吹气压力要调小，防止薄晶圆、裸芯片被吹飞。

三、操作后收尾

1. 停止作业，关闭真空泵；

2. 湿法工况（F 系列）：用 DI 水冲洗吸嘴与笔身，干燥后存放，避免药液残留腐蚀；

3. 无尘环境存放，保护吸嘴平面，避免磕碰划伤。

四、重要禁忌（减少工件报废 + 延长吸笔寿命）

❌ 禁止斜着拖拽工件，会划伤晶圆、崩边❌ 禁止吸嘴插入晶圆片隙之间，刮伤相邻晶片❌ 不要超负压使用，容易损坏阀芯密封❌ C 系列导电尼龙笔身严禁长时间浸泡药液❌ 不要用力猛按按键、摔落笔身，阀芯极易损坏❌ 不要用吸嘴直接触碰光刻胶、器件正面

五、常见异常排查

• 吸不住：检查负压、吸嘴平面磨损、管路漏气

• 释放不掉（粘片）：优先选用 F007 吹气款，或检查吸嘴表面静电

• 吸附不稳掉片：负压不足 / 吸嘴磨损变形