HOYA UL750（豪雅 合成熔融石英）

品牌：HOYA 日本豪雅品类：DUV 深紫外合成石英玻璃，ArF 光刻常用光学基材

核心参数 & 特点

• 主力波段：193nm (ArF 准分子激光)，兼容 248nm (KrF)

• 低 OH 基团，193nm 吸收低，高透过；低荧光

• 优异折射率均匀性，体内气泡、夹杂物缺陷控制严格

• 高激光损伤阈值 LIDT，耐受准分子激光长时间辐照

• 低热膨胀系数，光学稳定性好

同系列对比

表格

典型应用

ArF 光刻机光学透镜、曝光窗口、DUV 掩膜基板基底、深紫外检测光学元件。

供货形态一般为石英毛坯板 / 圆片，需要后续精磨、抛光、镀膜加工。