真空蝶阀工作压力（绝对压力）

国内GI/GIQ/GID 标准高真空蝶阀（橡胶密封，zui常用）：1×10⁵ Pa（常压） ～ 6.7×10⁻⁴ Pa

也就是：大气压 ～ 6.7×10⁻⁴ Pa，粗真空、高真空都覆盖，KF/ISO 法兰款基本都是这个区间

按真空等级划分

1. 低真空蝶阀（软密封）：101325 Pa ~ 1 Pa（粗真空，真空泵前端）

2. 高真空蝶阀（GI 系列，氟橡胶 / 丁腈）：101325 Pa ~ 10⁻⁴ Pa（镀膜、真空炉主流）

3. 超高真空蝶阀（金属密封款，少见）：zui低可达 10⁻⁷ ~ 10⁻⁸ Pa，无橡胶、可烘烤，半导体设备用

💡 关键点：真空蝶阀阀体耐压：一般壳体可承受≤0.1~1.0 MPa 正压（短时间可以承受常压，不能长期高压工况），它本质是负压阀，不是用来持续承受内部高压的阀门。气动执行器的驱动气源压力 ≠ 介质真空压力，气缸气源一般 0.4～0.6 MPa。

单位快速换算

• 10⁵ Pa ≈ 1 bar ≈ 760 Torr（标准大气压）

• 1 Pa ≈ 7.5×10⁻³ Torr

选型提醒

• 普通橡胶密封真空蝶阀不能做到超高真空，橡胶会放气；

• 阀门关阀时允许的最大压差一般是 1bar（一侧大气、一侧真空），压差过大容易压坏密封、开关力矩超标。