软密封真空蝶阀（GI/GIQ 系列，橡胶密封圈，常用）

✅ 优点

1. 密封性能好，漏率低橡胶密封圈弹性补偿能力强，关闭后密封面贴合紧密，常规产品漏率可达 ≤1×10⁻⁶ Pa·m³/s，满足绝大多数高真空需求。

真空工况下外侧大气压会把蝶板压向密封面，进一步提升密封效果。

2. 成本低、性价比高结构简单，阀体加工难度低于金属密封阀，采购、维修成本低；密封圈属于易损件，更换方便，不用整体换阀。

3. 开关力矩小橡胶软密封有弹性，相比金属硬密封，开关所需扭矩更小，配套的气动 / 电动执行器规格可以选小一号，降低驱动成本。

4. 流阻小、体积短蝶板薄，阀体轴向长度短，占用真空管路空间小；全开时通流能力好，可做通断，也能做节流调节。

5. 操作速度快气动款可以快速启闭，适合真空泵机组、镀膜机这类需要快速切断气路的场合。

❌ 缺点

1. 耐温受限橡胶密封圈不耐高温：

• NBR 丁腈橡胶：一般 -20～80℃

• FKM 氟橡胶：-20～150℃不能高温烘烤，无法用于需要烘烤除气的超高真空系统。

2. 材料放气率较高橡胶高分子材料会缓慢释放气体（放气），无法达到超高真空（10⁻⁷Pa 以下），仅适用于粗真空、中高真空。

3. 耐介质有限油、有机溶剂、强腐蚀气体会溶胀、腐蚀橡胶，导致密封失效；不适合强腐蚀、强溶剂工艺气。

4. 密封圈存在老化问题橡胶长期使用会老化、硬化、yong久变形；反复开关 + 真空循环会加速损耗，需要定期检查更换密封圈。

5. 存在死体积蝶板位于管路内部，阀腔有一定死区；在洁净工艺、半导体严苛工况下，残留气体不易被抽除。

6. 压差限制允许最大压差一般为 1bar（一侧大气、一侧真空），不允许反向高压或者持续正压工况。