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Products新品发布!京都玉崎销售 螺杆型干泵MS系列
MS系列是螺杆型干式真空泵。在传统的LS系列的基础上,提高了耐腐蚀性和粉末排出性能。该型号专为使用腐蚀性气体和有粉末排出的工艺设计。
特点
通过对转子轴和气缸等主要部件进行特殊涂层处理,以防腐蚀。
采用ULVAC设计的转子轴,实现高性能的排粉。
从大气压到极限压力,可以在全压力区域连续运行。
半导体和电子器件制造设备相关的真空排气系统,如刻蚀设备、去胶设备、等离子清洗设备等。
真空热处理炉真空排气系统,如烧结炉、渗碳炉等。
锂电池制造设备真空排气系统,如电极干燥设备、脱泡设备、注液设备等。
医疗食品设备相关的真空排气系统,如冷冻干燥设备、真空干燥设备等。