粗糙度检测仪的精度能达到多少

接触式粗糙度检测仪

这类仪器靠金刚石触针扫描表面测量，精度适配多数工业精密检测需求，不同定位的设备精度有明显区别。普通便携式设备如欧谱 OU1200，示值精度达 0.001μm，Ra 参数示值误差≤±7%；上海研润 2207 型的垂直最小分辨力达 0.6nm，Ra 示值误差≤±5%。而gao端精密机型精度更突出，如中图仪器 SJ5800 接触式一体机，分辨率能达到 0.1nm，系统残差小于 3nm；英示部分机型的粗糙度测量精度（Ra）为 ±(2% Ra + 0.015)μm，Z 轴测量分辨率达 0.0001μm。

非接触式粗糙度检测仪

这类仪器基于激光、白光干涉等原理，无磨损且适配超精密或易损表面测量，部分gao端设备可达纳米级甚至亚纳米级精度。比如常规非接触式激光轮廓仪精度约 ±0.01μm；集萃中科光电的白光干涉仪 MTMI100，粗糙度测量精度达 0.003nm，重复性误差＜1%；共聚焦显微镜的深度精度 ±5nm，原子力显微镜更是能实现 0.1nm 的超高分辨率，可满足纳米级粗糙度测量需求。