隔膜真空泵结构组成及工作原理

更新时间：2025-12-09

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隔膜真空泵是一种容积式真空泵，它通过柔性隔膜的往复运动来产生真空。以下是关于它的详细介绍：

工作原理

隔膜泵的泵体由一个气缸组成，隔膜在气缸内上下运动，将压缩腔室与驱动装置隔离，进气阀和排气阀均为压力控制阀。隔膜通过连杆与曲轴相连，真空泵运行时，在电机的驱动下，曲轴旋转并带动隔膜往复运动。当隔膜下移时，压缩腔室容积扩大，压力降低，气体从高压区域通过进气口进入泵内；当隔膜向上运动时，压缩腔室容积减小，气体被压缩并通过排气阀排出。随着隔膜不断上下运动，实现持续的抽气和排气过程。

结构组成

隔膜：是泵的核心部件，通常由高性能弹性体或含氟聚合物制成，具有良好的柔韧性和耐腐蚀性，其作用是通过往复运动改变泵腔容积，同时将泵腔与驱动机构密封隔离。
泵头：与隔膜一起构成密封泵腔，其内部几何形状通常设计成凹陷的 “圆顶" 形状，以提高效率和真空度，材料多为聚四氟乙烯、不锈钢或耐化学性树脂等。
阀门系统：由进气阀和排气阀组成，通常为压力激活的单向阀，如柔性活瓣阀、簧片阀或球阀，用于控制气体的进出方向。
传动系统：一般包括电机、曲轴、连杆等部件，其作用是将电机的旋转运动转换为隔膜的往复运动。