隔膜真空泵的结构组成及特点

结构组成

• 隔膜：是泵的核心部件，通常由高性能弹性体或含氟聚合物制成，具有良好的柔韧性和耐腐蚀性，其作用是通过往复运动改变泵腔容积，同时将泵腔与驱动机构密封隔离。

• 泵头：与隔膜一起构成密封泵腔，其内部几何形状通常设计成凹陷的 “圆顶" 形状，以提高效率和真空度，材料多为聚四氟乙烯、不锈钢或耐化学性树脂等。

• 阀门系统：由进气阀和排气阀组成，通常为压力激活的单向阀，如柔性活瓣阀、簧片阀或球阀，用于控制气体的进出方向。

• 传动系统：一般包括电机、曲轴、连杆等部件，其作用是将电机的旋转运动转换为隔膜的往复运动。

特点

• 无油运行：运行时不使用油作为工作介质，无碳氢化合物和颗粒物产生，能提供洁净的真空环境，避免了对被抽气体和环境的污染。

• 耐腐蚀性强：可采用耐腐蚀材料制造隔膜和泵腔，适用于抽吸腐蚀性气体。

• 低振动和噪声：运行时振动和噪声级较低，通常低于 50dB (A)，适合在对环境要求较高的场所使用。

• 维护简单：隔膜和阀门等易损件更换方便，维护成本低。