真空泵工作原理及主要类型

 工作原理
往复式真空泵：利用泵腔内活塞做往复式运动，将气体吸入、压缩并排出。

水环真空泵：叶轮旋转时，液体被抛向四周形成水环，叶轮轮毂与水环之间的月牙形空间被叶片分成若干小腔，小腔容积随叶轮旋转周期性变化，实现吸气、压缩和排气。

罗茨真空泵：泵内两个叶形转子反向同步旋转，从抽真空进气口吸进空气，从排气口排出气体。

油扩散泵：泵油加热产生油蒸气，经喷嘴高速喷出，被抽气体分子扩散到蒸气流中，沿蒸气流方向被压缩到低真空端，由前级泵抽走。

溅射离子泵：空间电子在磁场作用下使气体分子电离，离子飞向阴极，溅射钛原子并沉积，产生抽气作用。

主要类型
干式真空泵：包括爪式、涡旋式、罗茨式和螺杆式等，具有无油污染、宽抽速范围等优势，广泛应用于半导体行业。例如螺杆干泵，利用一对螺杆同步高速反向旋转产生吸气和排气作用。

分子泵：主要有涡轮分子泵和磁悬浮分子泵，通过高速旋转的转子将动量传递给气体分子，使其获得定向速度并被压缩至排气口，适用于高真空环境。

低温泵：利用低温表面捕集气体，可达到超高真空，如冷泵通过液氦或制冷机冷却的冷板使气体凝结。
性能指标
极限压力：真空泵能够达到的zui低压力，单位为 Pa，反映了真空泵的真空度极限。
抽气速率：在一定压力下，单位时间内真空泵抽出气体的体积，单位为 m³/h 或 L/s，体现了真空泵的抽气能力。
前级压力：对于需要前级泵的真空泵，前级泵能达到的压力，影响着主泵的正常工作。
应用领域
广泛应用于冶金、化工、食品、电子镀膜、石油、医药等行业的真空冶炼、真空镀膜、真空热处理、真空干燥等工艺过程中。
在半导体集成电路薄膜沉积、刻蚀、离子注入等对真空环境要求较高的干法工艺中也有重要应用。