真空泵的主要性能参数有哪些

极限压力（极限真空）

这是真空泵在规定条件下，经充分抽气后能达到的zui低稳定压力，单位为 Pa（帕斯卡），也常用 mbar、Torr 等单位（1Torr≈133.322Pa，1mbar=100Pa）。该参数直接决定了真空泵能达到的真空环境等级，比如粗真空泵极限压力一般在 10^5~10^2Pa，高真空泵可低至 10^-7~10^-10Pa。

前级压力

针对需要前级泵配合工作的真空泵（如扩散泵、分子泵），指主泵正常工作时对前级泵出口压力的要求，若前级压力不达标，主泵无法实现设计的极限真空。

抽气速率（抽速）

指在一定压力和温度条件下，真空泵单位时间内从被抽容器抽出气体的体积，单位为 m³/h、L/s 等。抽速会随入口压力变化而改变，通常厂家会提供抽速 - 压力特性曲线，例如某罗茨真空泵在入口压力 100Pa 时抽速为 500m³/h，压力降低后抽速会相应衰减。

zui大入口压力

真空泵能正常启动和工作的zui高入口压力，超过该压力可能导致泵体过载、过热甚至损坏，比如水环真空泵的zui大入口压力通常接近大气压。

压缩比

指真空泵排气口压力与进气口压力的比值，反映泵对气体的压缩能力，压缩比过高可能引发气体返流，影响真空度。

启动时间

真空泵从开机到达到稳定工作状态所需的时间，对于需要快速建立真空环境的工艺（如半导体刻蚀）尤为重要。

功耗与温升

真空泵额定工作时的功率消耗（单位为 kW）和工作过程中的温度升高幅度，关系到设备的能耗成本和长期运行稳定性，尤其是高真空设备对温升控制要求严格。

水蒸气容许量

真空泵在不影响性能的前提下，能抽除的水蒸气zui大量，单位为 kg/h，对于真空干燥等含湿量高的工艺，该参数直接决定泵的适用性。

耐腐蚀性

针对有腐蚀性气体的工况，衡量泵体材料和密封件对特定腐蚀性介质的耐受能力，是化工、电镀等行业选型的关键指标。