离子研磨仪 常用工作参数

1. 离子束电压

   常用0.3~10kV，电压越高研磨速度越快，易产生热损伤
2. 离子束电流

   控制束流大小，决定研磨效率，数值越大打磨越快
3. 研磨角度

   一般0°~90° 可调，常用 10°~30° 斜角研磨，截面更平整
4. 样品转速

   0~60r/min，旋转让样品受轰击均匀，避免偏磨
5. 腔体真空度

   工作真空1×10⁻³ ~ 5×10⁻⁴ Pa，真空不足离子束不稳定
6. 工作气体

   标配高纯氩气，气压 0.1~0.5Pa
7. 研磨时间

   按需设定，几秒到几小时，薄样短时间、厚截面长时间
8. 样品冷却温度

   水冷 / 液氮降温，防止塑料、软材料高温变形碳化
9. 最大加工尺寸

   常规：50×50mm 以内样品
10. 研磨速率

    一般50~800μm/h，随电压、材质变化
11. 离子枪数量

    单枪、双枪、三枪，枪越多平面抛光效果越好