干式真空泵工作原理（爪式 / 罗茨 / 螺杆三类，荏原全系列通用原理）

核心总述

1、通用基础过程（所有干泵通用四步）

1. 吸气：转子旋转，泵腔腔体容积由小变大，腔体形成负压，工艺气体被吸入泵腔；

2. 封闭：转子继续转动，进气口被隔断，气体密闭在密封腔体内；

3. 压缩：腔体容积逐步缩小，密闭气体被压缩、气压升高；

4. 排气：腔体连通排气口，高压气体冲破排气压差，从排气端排出。

靠微米级配合间隙封气，不用油液填充缝隙，因此叫干式。

2、三种主流结构细分原理（对应荏原型号）

①爪式干泵｜EV‑A、EV‑SA、EV‑X（多级串联）

• 每级腔体一对爪形转子，左右转子凹凸爪相互咬合；

• 多段腔体串联逐级压缩，单级压缩比小、多级叠加获得高真空；

• 特点：风冷居多、极限真空高（0.1～1Pa），用于实验室、Load‑Lock、电镀配套。

②罗茨干式｜EV‑M 系列

• 两片 8 字形罗茨转子同步反向旋转，无接触咬合；

• 单次容积大、抽气流量大，单级抽速高，一般水冷；

• 多用于半导体刻蚀、CVD 大腔体粗抽。

③螺杆干泵｜EST 系列

• 一对阴阳螺旋螺杆转子啮合旋转，气体沿着螺杆轴向被连续压缩推送；

• 压缩平缓、耐高温、抗粉尘，可全特氟龙防腐，适配 MOCVD、重腐蚀制程。

3、辅助配套原理（半导体机型标配）

1. 氮气吹扫：转子间隙通入微量氮气，阻挡腐蚀性粉尘进入间隙附着，防卡死、防腐蚀；

2. 温控冷却：风冷 / 水冷带走压缩发热，防止高温裂解工艺气体；

3. 变频调速：腔体保压阶段降转速，空载节能。