一、多级爪式干泵（荏原 EV-SA/EV-A/EV-S/EV-X）

适用场景

1. 半导体洁净轻制程

   Load-Lock 晶圆传送腔、PVD 溅射腔体预抽、离子注入机前级、晶圆电镀设备、半导体检测机台；

2. 实验室 & 精密仪器

   SEM 扫描电镜、质谱仪 (GC-MS/LC-MS)、小型镀膜机、高校真空实验、冷冻干燥；

3. 小产能泛半导体

   MiniLED 封装、小型研发 PECVD、光学镀膜。

选型口诀：洁净小腔体、少腐蚀、空间小→选爪式风冷 EV-SA

二、罗茨干式干泵（荏原 EV-M 系列，多级罗茨转子、水冷、超大抽速）

适用场景

1. 半导体重载量产制程

   HDP 高密度刻蚀、PECVD/LPCVD、ALD 原子层沉积、RTP 快速退火、扩散炉、大腔体 CVD 粗抽；适配大量工艺尾气 (SF₆、O₂、卤化物)；

2. 面板 / 光伏大产线

   LCD/OLED 面板镀膜、HJT 管式 PECVD、硅片烧结炉整线抽气；

3. 化工量产

   真空蒸馏、大型真空热处理炉、大容量负压反应釜。

选型口诀：大腔体、大排气量、快速破真空→EV-M 罗茨干泵

三、变螺距螺杆干泵（荏原 EST/ESA 防腐螺杆）

适用场景

1. 强腐蚀半导体工艺

   MOCVD 外延、SiC/GaN 第三代半导体刻蚀、含 HF/HBr/Cl₂卤化气体制程、干法去胶灰化（大量腐蚀副产物）；

2. 精细化工 / 医药

   原料药真空浓缩、溶剂回收、易燃易爆有机气体抽取；

3. 锂电 / 新材料

   负极材料烧结、电解液负压脱水。

选型口诀：强酸腐蚀、高水汽、粘稠粉尘多→EST 螺杆防腐款

四、涡旋干式干泵（微型小功率，市面小型国产 / 进口）

适用场景

半导体工艺选型速查表

补充搭配逻辑

1. 超高真空机组：干泵（前级预抽）+ 分子泵，PVD / 离子注入可达；

2. 恶劣粉尘工况：螺杆 / 罗茨 + 前置除尘 + 氮气反吹；洁净轻载优先爪式风冷。