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什么是半导体应变片

更新时间:2026-06-22      浏览次数:20
半导体应变片是利用半导体材料的压阻效应制成的力 - 电转换传感元件,核心材料多为单晶硅、锗等半导体,区别于传统金属电阻应变片的电阻丝结构。

核心原理:压阻效应

半导体晶体受到外力发生形变时,内部载流子(电子、空穴)迁移率、浓度改变,材料电阻率发生大幅变化,电阻随之明显改变;
金属应变片仅靠几何形变改变电阻,半导体电阻率变化占主导,灵敏度远高于金属片。

二、基本结构

  1. 敏感栅:掺杂单晶硅条(P 型硅、N 型硅),核心受力传感部分;

  2. 基底:环氧树脂、陶瓷,承载硅条,隔离被测构件;

  3. 引线电极:金属蒸镀电极,引出电阻信号;

  4. 保护层:防潮、防机械损伤涂层。

三、关键性能特点

优点

  1. 灵敏度高:灵敏系数(GF)50~200,金属应变片仅 2~3,相同受力输出信号大几十倍,可简化放大电路;

  2. 体积微小,可微型化,适合狭小空间、微型传感器;

  3. 频响好,适合动态、高频振动测量。

缺点

  1. 温度漂移极大:半导体电阻率随温度变化剧烈,温漂远大于金属应变片,必须配套温度补偿电路;

  2. 非线性明显:电阻变化与应变不是wan美线性,大应变下误差大;

  3. 易受应力、光照影响,稳定性、重复性弱于金属应变片;

  4. 脆性大,不能承受过大拉伸、冲击。


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