产品分类

Products

技术文章/ ARTICLE

我的位置:首页  >  技术文章  >  半导体应变片工作原理

半导体应变片工作原理

更新时间:2026-06-22      浏览次数:25

半导体应变片工作原理:核心是半导体压阻效应

1. 基础概念:压阻效应

单晶硅、锗这类半导体晶体,在外力作用下产生机械形变(拉伸 / 压缩)时,晶体内部晶格间距改变,会直接改变材料电阻率 ρ,从而使自身电阻发生显著变化,这种现象就叫压阻效应
对比金属应变片:
金属受力只改变电阻丝长度、横截面积,电阻率几乎不变;
半导体应变片电阻率变化是电阻变化的主要来源,灵敏度高出几十倍。

2. 完整物理过程

  1. 受力形变
    应变片粘贴在被测构件上,构件受拉力 / 压力变形,带动硅敏感条同步拉伸或压缩。
    • 拉伸:晶格被拉长,载流子迁移率下降 → 电阻率上升 → 电阻变大

    • 压缩:晶格被挤压,载流子迁移率提升 → 电阻率下降 → 电阻变小

  2. 掺杂类型区分(P 型 / N 型硅特性相反)
  • P 型硅(空穴导电):受拉电阻增大,受压电阻减小,灵敏系数更大,工业zui 常用;

  • N 型硅(电子导电):受力变化趋势和 P 型相反,灵敏度偏低,少单独使用。

  1. 电阻变化公式

    电阻通用公式:

  • 金属应变片:ρ 基本不变,R 变化只来自 L、S 几何尺寸;

  • 半导体应变片:ρ 变化幅度远大于 L、S 变化,几何影响可忽略,电阻变化主要由 ρ 决定。

灵敏系数
半导体 K≈50~200,金属仅 2~3,同等微小形变输出信号更强。

3. 信号采集逻辑

半导体应变片接入惠斯通电桥
  • 无外力时,电桥平衡,输出电压为 0;

  • 产生应变后,应变片电阻改变,电桥失衡,输出微弱电压信号;

  • 后端电路放大、补偿温度漂移,换算得到应变、压力、力、加速度等物理量。

4. 固有缺陷来源(原理自带)

  1. 温度漂移:半导体电阻率对温度极敏感,温度变化会造成电阻漂移,必须搭配补偿电阻;

  2. 非线性:应变增大后,晶格畸变加剧,电阻变化和应变不再成严格直线关系,大应变测量误差大;

  3. 各向异性:硅晶体不同晶向压阻灵敏度差异很大,生产时必须切割zui 优晶向提升性能。


深圳市京都玉崎电子有限公司
地址:龙华新区梅龙大道906号创业楼
邮箱:ylx@tamasaki.com
传真:86-755-28578000
扫一扫关注我们
SCAN