日本富士 Fuji Techno HYM-03 高精度柱塞计量泵介绍

三重凸轮驱动柱塞回吸结构，吸排流速均衡；泵头可选 316 不锈钢、哈氏合金、钛材、PTFE、PEEK，适配腐蚀 / 高粘度液体。

实验室微量配比、精密涂装、电子点胶、微量灌装、化工合成、燃烧试验机、试剂定量添加

工况：8 寸 / 12 寸晶圆连续辊涂、狭缝精密涂布，输送 UV 光刻胶、显影液、剥离液，粘度 50–5000cps，出口压力 40–70bar配置：HYM-03 SUS316 泵头 + 伺服调速，双泵同步配比痛点解决：普通隔膜泵脉冲大导致涂层厚薄不均、晶圆色差；HYM 三重凸轮无脉冲，流量随转速线性可调，膜厚公差控制 ±0.02μm，良率提升 12%使用规模：国内多家面板、半导体代工厂涂布线标配单泵 / 双泵组

工况：蚀刻生产线在线微量补加盐酸、氯化铜蚀刻母液，持续 24h 连续运行配置：哈氏合金泵头耐氯离子腐蚀效果：药剂投加量稳定，PCB 线路线宽误差降低，药液更换周期延长 30%

工况：实验室微型反应釜，锂盐、添加剂、溶剂高压混合，压力最高 85bar配置：PTFE 泵头兼容无水无氧电解液，可选 250bar 高压版本优势：微量精准投料，小试配方数据可直接放大至中试产线，无溶剂挥发、无气泡干扰电化学测试