Miyuki美幸辉品牌介绍

核心定位

二、核心技术四大优势

1. 极低泄漏密封

   双密封方案：金属波纹管全金属硬密封 / FKM 双层氟橡胶轴封，泄漏率zui低可达 1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s，腔体长期保压无衰减；CF 刀口法兰可高温烘烤除气，适配超高真空制程。

2. 高洁净低发尘设计（半导体核心卖点）

   阀体接触介质部位 SUS304/316L 镜面抛光；波纹管隔离阀杆，无滑动摩擦、无金属粉尘、无有机物挥发，满足 SEMI 半导体无尘标准，不会污染晶圆、光学膜层。

3. 高精度无级压力调节

   伺服电机直驱无背隙结构，蝶阀开度微米级微调；配套专用 MG 系列控制器，PID 闭环稳压，控制精度 ±0.1%~±0.5%，刻蚀、沉积工艺腔体压力稳定无波动。

4. 低流阻快速响应

   流线型超薄内腔，抽气效率高；气动阀带缓冲结构，启闭≤1 秒，无冲击震动，适配 24 小时量产连续运行。

三、完整主力产品线

1. 真空调节蝶阀（整机核心）

• GAR 系列：gao端伺服电动蝶阀，半导体 8/12 寸晶圆刻蚀、PVD/CVD、离子注入专用，断电抱闸防泄压，低尘闸板式流道

• BAZ 系列：数字定点电动蝶阀，可预设多档位开度，适配真空热处理、钎焊炉

• G/BH 系列：气动伺服蝶阀，性价比款，真空镀膜、光伏产线通用

• 法兰规格：KF/NW、ISO、CF 标准法兰，覆盖 DN25~DN350 全口径

2. 波纹管高真空 L 阀（ABR/AER 系列）

3. 真空自动压力控制器（MG 系列，你型号 MG-mini485 属于此类）

• MGCS-11：gao端触摸屏控制器，4 寸大屏，7 组 PID 参数存储，双传感器输入，RS485/232 通讯，可对接 PLC 上位机

• MG-mini485：小型紧凑型控制器，节省设备空间，支持 MODBUS 通讯，小型真空腔体、检测设备配套

• 功能：自动稳压、压力曲线监控、故障报警、远程程序控制，压力区间 10⁻¹~10⁻⁵ Pa 全覆盖

四、主要应用行业（和你关注设备高度匹配）

1. 半导体设备（最大应用场景）

   晶圆刻蚀、PVD 溅射、CVD 薄膜沉积、离子注入、真空清洗腔体稳压控制，搭配 THK 导轨滑台、MUSASHI 点胶机构成整套晶圆检测 / 加工设备。

2. 光学真空镀膜

   镜头 AR 增透膜、ITO 导电膜、玻璃 / 塑胶真空镀铝，搭配林时计 SPA2 光源外观检测台。

3. 新能源锂电

   电芯真空烘烤、电解液脱泡、固态电池高温烧结炉真空压力调节。

4. 光伏设备

   硅片镀膜、组件真空封装产线。

5. 科研实验室

   高真空实验舱、氦检设备、空间环境模拟装置。

五、生产品质保障

1. 全系列产品无尘车间组装、出厂 100% 真空泄漏检测，每台附带泄漏检测报告；

2. 阀体不锈钢一体加工，密封件原厂定制，耐酸碱、耐高温烘烤；

3. 全流程序列号追溯，日本本土原厂生产，国内深圳(京都玉崎）设有技术服务与库存渠道。