Miyuki品牌的产品有哪些系列

一、电动伺服真空调节蝶阀（主流高精度调压，半导体主力）

1. BAR 系列（通用电动伺服蝶阀，zui  常用）

• 驱动：DC24V 伺服电机直驱，无背隙，0~90° 无极开度闭环调节

• 口径：DN25~DN250，法兰 KF/CF/JIS/ISO 全覆盖

• 子型号后缀：

• C：标准通用型；B：高流导大流量；S：超薄窄面型

• 密封：标准 FKM 氟橡胶，可选 Kalrez 全氟醚、全金属 UHV 密封

• 优势：低发尘、轴泄漏≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s，适配刻蚀、PVD、点胶真空腔体

• 配套控制器：MGCS、MG-mini485、MS-VP

2. BAZ 系列（数字定点档位蝶阀）

• 定位：分段开度控制，00~99 档预设开度，阶梯稳压 / 分段进气

• 口径：DN25~DN100，适配热处理炉、氦检、真空钎焊

• 配套专用控制器：MS-PC（定点开度专用面板）

• 特性：绝对编码器原点记忆，断电锁止当前开度，低噪音低释气

3. GAZ 系列（闸板式电动调节阀，大排气流量）

• 结构：闸阀流道，排气效率远高于蝶阀，大腔体快速抽气

• 口径：DN80~DN160，JIS/ISO/C 法兰

• 适用：大型镀膜机、锂电真空烘烤、大容积工艺腔

4. GAR 系列（gao端半导体专用伺服闸阀）

• 品牌旗舰洁净阀，专为 8/12 寸晶圆设备开发

• 超低释气、镜面抛光流道、无摩擦结构，满足 SEMI 无尘标准

• 高真空可达 10⁻⁵ Pa，断电电磁抱闸防泄压，用于刻蚀、离子注入、薄膜沉积

二、气动伺服 / 通断真空蝶阀（气源驱动，低成本大口径）

1. G 系列（气动伺服无级调节阀）

• 气源驱动伺服气缸，0~90° 连续开度调节，无需电机供电

• 适合大口径泵组、载气流量微调、预算优先产线

2. B/BH 系列（纯气动开关阀，仅通断）

• B：单气缸两位阀，只有全开 / 全关，用于腔体隔断

• BH：双气缸三段式（全关→慢开→全开），缓冲缓抽，防止腔体颗粒扬起

三、波纹管高真空隔离阀（ABR/AER 系列 UHV 超高真空）

• 波纹管wan全隔离阀杆，无滑动摩擦、零金属粉尘、极低泄漏

• 支持 CF 刀口法兰，可高温烘烤除气，适配 10⁻⁷~10⁻¹⁰ Pa 超高真空

• 用途：科研实验舱、氦检漏、真空蒸镀、光学镀膜主隔离阀

四、真空压力闭环控制器系列（配套阀门实现自动稳压）

1. MGCS 系列（gao端触摸屏主控）

• MGCS-11：4 寸触摸屏，19 英寸机架半宽，7 组 PID 参数存储，双真空传感器输入

• 通讯：RS232/RS485，支持 PLC / 上位机联动，控制精度 ±0.1% FS

• 适配：GAR/BARgao 端半导体阀门，高精度工艺闭环稳压

2. MG-mini485（紧凑型小型控制器）

• 迷你机身，节省设备机柜空间，Modbus-RTU 通讯

• 功能简化但保留自动 PID 整定，小型真空腔体、检测设备标配（你查询型号所属系列）

3. MS-VP（电压型开度控制器）

• 0~10V/4~20mA 模拟量输出，仅控制阀门固定开度，无自动压力闭环

• 适合只需要手动设定开度、不需要自动稳压的工况

4. MS-PC（BAZ 定点阀专用控制器）

• 数字档位设定面板，00~99 档开度输入，仅配套 BAZ 系列定点蝶阀

五、配套辅助配件系列

1. 原厂伺服电机线缆：3m/5m/10m 定制长度，直连阀门驱动

2. 替换密封套件：FKM、Kalrez、金属刀口密封件，适配腐蚀 / 高温等离子工况

3. 法兰转接接头：KF、CF、JIS、ISO 标准转换法兰

4. 外置真空传感器适配模块，扩展多腔体同步压力采集