MIYUKI 美幸辉电动伺服真空调节蝶阀（BAR/BAZ/GAR 系列）核心优势

一、伺服直驱零背隙，调压精度行业顶尖

1. 电机直驱结构，无减速齿轮，che底消除齿轮间隙、回程漂移，0~90° 全行程微米级开度调节，最小分辨 0.1° 开度。

2. 微小开度线性稳定，极低流量区间压力无震荡，适配半导体刻蚀、光学镀膜微量稳压工艺。

3. 内置绝对式编码器，断电yong久记忆原点，重启无需回零校准，量产重复一致性高。

4. 搭配 MG 系列控制器实现 PID 闭环稳压，腔体压力控制精度 ±0.1% FS，长时间工艺压力无飘移。

二、超低泄漏密封，高真空长期保压

1. 双道密封体系：阀体主密封 FKM 氟橡胶，阀杆双层轴封，轴外泄漏≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s，阀体内部泄漏≤1×10⁻⁹ Pa・m³/s，远超普通国产蝶阀。

2. 可选 Kalrez 全氟醚密封，耐等离子、腐蚀工艺气体，耐温提升，适配蚀刻、薄膜沉积强腐蚀工况。

3. CF 法兰版本支持高温烘烤除气，满足 10⁻⁷Pa 以上超高真空需求，腔体保压稳定，不会因微量泄漏导致整批工件报废。

三、低发尘、低释气，适配半导体无尘制程（核心卖点）

1. 介质接触面全部 SUS304 镜面电解抛光，阀体无毛刺、wu死角，有机挥发物极低。

2. 内部无外露金属滑动摩擦副，运转不产生金属颗粒，满足 SEMI 无尘标准，杜绝晶圆、光学膜层颗粒缺陷。

3. 整机在无尘车间组装、清洁、检漏出厂，无油污杂质带入真空腔体，适配 Class100/1000 洁净产线。

4. 运行噪音极低，无金属撞击异响，不干扰精密光学检测、微量点胶设备稳定工作。

四、断电安全防护，避免腔体报废

1. GAR/BAZ 标配电磁抱闸：断电瞬间锁死当前蝶板开度，不会自动全开 / 全关，防止真空腔体大破真空、工件氧化报废。

2. gao端 GAR 系列可定制断电全关功能，突发停电自动切断流路，保护昂贵工艺腔体与晶圆。

3. 阀位信号实时反馈至 PLC，可做设备联锁报警，异常开度自动停机。

五、超薄流线阀体，大通导、抽气效率高

1. 薄型蝶阀内腔流线设计，流阻远低于普通闸阀，同等口径抽气速率更高，缩短腔体预抽真空时间，提升设备产能。

2. 体积紧凑，设备机柜、真空管路狭小空间易安装；支持水平、垂直、侧向任意角度安装，无介质流向限制。

3. 口径覆盖 DN25~DN250（BAR）、DN80~DN400（GAR/GAZ），兼容 KF、JIS、ISO、CF 全主流真空法兰，新旧日系设备改造通用。

六、耐温耐腐蚀，工况适配性广

1. 阀体耐受最高 150℃，伺服电机独立散热，高温炉体周边安装不影响控制精度。

2. 标准 FKM 密封适配氮气、氩气等惰性工艺气体；全氟醚密封可应对酸碱、等离子腐蚀环境。

3. 不锈钢整体阀体不易生锈，长期接触水汽、切削清洗液不易腐蚀漏气。

七、完整自动化配套，产线集成简单

1. 两种控制方案全覆盖：

• BAR 无级款：MG-mini485/MGCS 触摸屏控制器，Modbus 通讯对接 PLC、上位机连续稳压；

• BAZ 定点款：MS-PC 面板，00~99 档固定开度，分段缓抽、阶梯进气量产工艺专用。

2. 支持 0~10V/4~20mA 模拟量、数字通讯、IO 触发多模式控制，和 THK 滑台、MUSASHI 点胶机、林时计光学检测光源成套联动无兼容问题。

3. 原厂配套伺服线缆、转接法兰、替换密封套件，后期维护备件齐全。

八、耐用稳定，24 小时量产低维护

1. 无齿轮磨损结构，长期高频往复调节不易老化，密封件寿命优于齿轮传动阀门。

2. 出厂 100% 真空泄漏、阀位重复精度全检，单台附带检测数据，每件产品序列号可追溯生产流程。

3. 低磨损、低粉尘，润滑周期长，半导体、镀膜设备全年连续运行无需频繁拆机保养。

九、同系列细分差异化优势

1. BAR 通用蝶阀：性价比高，中小型镀膜、检测、点胶真空腔体shou选，无级连续调压；

2. BAZ 定点蝶阀：档位锁止，批量固定工艺开度重复性ji强；

3. GAR 半导体闸板式调节阀：洁净等级更高、断电锁阀防护更强，适配 8/12 寸晶圆刻蚀、PVD/CVD gao'端制程，支持流量控制至wan全闭合。

对比气动伺服蝶阀核心优势