MIYUKI 美幸辉电动伺服真空调节蝶阀（BAR/BAZ/GAR）全应用场景

一、半导体晶圆制造（GAR 系列为主，gao端制程shou选）

核心设备与用途

1. 等离子刻蚀机、PVD 磁控溅射、CVD 薄膜沉积、ALD 原子层沉积

   工艺腔闭环稳压，精准控制等离子气体分压，压力波动极小，保证薄膜均匀性；低发尘结构避免晶圆颗粒缺陷，断电抱闸锁阀防止真空骤降报废 8/12 寸晶圆。

2. 离子注入、等离子清洗设备

   微量载气流量线性调节，分段进气稳定等离子环境。

3. 晶圆真空检测、真空点胶腔体（搭配 MUSASHI MPP-5 点胶泵 + THK 精密滑台）

   微型 BAR 小口径阀，小型真空腔体持续稳压，配合光学外观检测（SPA2 光源），无震动干扰视觉成像。

4. 扩散炉、真空退火炉

   GAR 大口径款管控炉内真空度，恒温薄膜工艺。

选型区分

• gao端量产产线：GAR 闸板式伺服蝶阀（SEMI 洁净标准、断电锁阀）

• 小型研发机台、检测工位：BAR 无级蝶阀

二、光学 / 显示真空镀膜（BAR 通用、BAZ 分段工艺）

1. 光学镜头镀膜（手机镜头、眼镜、车载镜头、AR 镜片）

2. OLED/Mini/Micro LED、LTPS 面板蒸镀设备

3. 装饰镀膜、ITO 导电膜、玻璃基板镀膜

• 连续卷绕镀膜机用BAZ 定点档位阀：分段缓破真空，防止膜层起泡、氧化；

• 单腔间歇镀膜用BAR 无级阀：PID 动态稳压。

三、新能源锂电 & 光伏设备

锂电池产线

1. 电芯真空烘烤、真空注液、电解液脱泡腔体

   BAZ 分段阶梯泄压，避免电解液飞溅、电芯报废；BAR 用于小型负压注液工位。

2. 极片真空干燥、固态电池高温烧结炉

   耐腐蚀 FKM/Kalrez 密封，耐受水汽、微量电解液挥发。

光伏设备

1. 硅片 PVD 镀膜、电池片退火炉、组件真空封装

   大口径 BAR/GAR 稳定腔体真空，提升光伏转换效率一致性。

2. 光伏检测真空工装，搭配光学检测台。

四、精密自动化真空设备（配套点胶、检测设备）

1. 真空点胶设备（MUSASHI MPP-5 配套）

   小型 BAR-J25/J40 微型伺服阀，点胶腔体负压稳压，防止胶水气泡、断胶，搭配 THK 直线滑台实现全自动真空点胶。

2. 真空贴合、FPC 压合、摄像头模组封装设备

   低噪音、低震动调节，贴合无气泡，良率提升。

3. 真空氦质谱检漏工装

   BAZ 定点阀实现分段升压、阶梯检漏，精准控制检漏腔压力。

五、科研实验室 & 精密分析仪器

1. 超高真空表面分析设备：XPS、AES、SEM、电子束曝光、MBE 分子束外延

   GAR-CF 金属法兰款，可高温烘烤除气，超低泄漏适配 10⁻⁷~10⁻¹⁰Pa 超高真空环境。

2. 材料真空脱气、等离子实验舱、惰性气体氛围实验台

   BAR 无级连续调压，实验压力全程精准可控，数据重复性高。

3. 高校真空教学实验平台、小型真空镀膜试验机。

六、真空热处理 / 钎焊工业炉（BAZ、BAR 通用）

1. 航空合金、精密模具真空退火、真空钎焊炉

   BAZ 多档位分段进气、缓泄压，避免工件氧化、变形；BAR 用于中小型实验炉连续稳压。

2. 硬质合金、不锈钢热处理负压腔体。

七、医药、食品、精细化工洁净真空

1. 制药无菌真空干燥、试剂真空分装设备

   SUS304 镜面抛光阀体，低释气无污染，保障药品纯度。

2. 精细化工负压反应釜、新材料真空合成管路，耐腐蚀密封适配弱腐蚀工艺气体。

三款伺服阀场景选型速记

1. GAR 系列（gao端闸板式）

   8/12 寸半导体刻蚀 / PVD、OLED 量产蒸镀、超高真空科研腔体、高价值晶圆制程（断电锁阀、最高洁净等级）

2. BAR 系列（无级蝶阀，通用主力）

   光学镜头镀膜、小型真空点胶 / 检测设备、锂电烘烤、实验室通用真空腔体、中小型量产镀膜机（连续 PID 稳压）

3. BAZ 系列（数字定点档位）

   卷绕镀膜分段破空、锂电注液阶梯泄压、真空热处理炉、氦检设备（固定工艺档位，重复一致性强）