MIYUKI美幸辉全系列阀门分类

1. B 系列 气动真空蝶阀（两位通断 / 双段开度）

• 用途：腔体抽气、隔断、快慢排气（双级气缸可设定 0~45° 小开度慢泄）

• 口径：25A~400A；法兰：JIS/ISO/KF (NW)/CF

• 驱动：单 / 双作用气动，DC24V 电磁阀，阀位 NPN/PNP 信号反馈 PLC 联锁

• 压力区间：1×10⁵ Pa ~ 1×10⁻⁶ Pa；标准密封 FKM 氟橡胶，可选 Kalrez 耐腐蚀等离子

• 特点：超薄阀体、大通导、气缸末端气垫缓冲，无尘组装

2. BAR/BAZ/GAR 伺服电动调节蝶阀（精密压力控制）

细分区别

• BAR 系列：基础伺服调节，25A~250A，通用镀膜、实验腔体稳压

• BAZ 系列：带电磁抱闸，断电锁定当前开度，工艺连续不漂移

• GAR 系列：大口径门阀式调压（80A~400A），PVD/CVD 半导体刻蚀专用，流量线性稳定、低噪音

• 配套控制器：MG-mini485、MS-VP、MGCS-11（触摸屏 PID 真空压力控制系统）

• 性能：0~90° 无极调节，绝对编码器记忆原点，微小开度无压力震荡

3. SG 系列 小型波纹管真空截止阀

• 用途：真空计探头、微小管路隔离、高真空气路切断

• 接口：NW16/NW25、CF34、VCR、1/2 寸外螺纹多种规格

• 驱动：气动单作用常闭，波纹管全金属隔离无轴封泄漏

• 极限真空：1×10⁻⁷ Pa，泄漏≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s，耐温 150℃

4. GH 系列 气动流量闸阀（大腔体主抽）

• 口径 70A~500A，大通导适配大型镀膜、锂电涂布真空炉

• 多点球面压紧密封，正反压差密封均匀，真空钎焊内腔wusi角低释气

5. PER 系列 电磁防返流阀（真空泵配套）

无需气源，同步油泵电源；停机自动隔离泵腔并缓慢泄压，防止真空泵油返流污染腔体，适配 25/40 口径旋片泵入口

6. BL 系列 多档位定位电动蝶阀

伺服电机可预设 14 档固定开度，示教软件快速设定定位，用于固定流量分段抽气工况