ULVAC爱发科真空泵介绍

日ULVAC 爱发科（株式会社アルバック） 1952 年成立，全球真空设备龙头，产品线覆盖小型实验室泵、工业干式泵、油式泵、分子泵、低温泵、真空机组，广泛用于半导体、镀膜、锂电、科研、化工、光学行业，国内设有生产基地与直营分公司。

 一、小型无油干式泵（实验室 / 小型设备）

 1. DA 系列 标准隔膜泵

- 无油洁净、低震动、小型便携，抽速 6~260 L/min

- 极限真空：约 10 kPa，单段 / 双段可选

- 用途：真空脱泡、吸附平台、色谱、小型镀膜前级、实验室通用真空

 2. DTC 系列 耐腐蚀隔膜泵

- 气路全 PTFE/FPM 氟塑料，耐有机溶剂、弱酸蒸汽

- 型号 DTC-22/DTC-41/DTC-60，适合化学实验、溶剂回收

 3. DAU/DTU 高真空隔膜泵

- 双段高真空结构，极限真空可达 1 kPa 级别，无油无污染

- 适配质谱、扫描电镜、精密分析仪器前级

### 4. DOP 摇摆活塞干泵

- 大流量小型干泵，结构简单、耐用，真空吸盘、贴合机、印刷吸附

### 5. DIS/DISL 涡旋干泵（无油涡旋）

- wan全无油、洁净真空，低噪音，极限真空 0.1 Pa 级

- 检漏仪、半导体设备、精密镀膜、科研高真kong前级

## 二、工业大型干式真空泵（半导体 / 锂电 / 腐蚀工艺主力）

### 1. LS 螺杆干式泵（通用节能款）

- 内置消音器、ECO-SHOCK 节能模块，噪音≤61dB

- 抽速 20~80 m³/h，无水冷风冷型，光伏、锂电、热处理通用

### 2. LR/HR/UR 耐腐蚀罗茨螺杆干泵（半导体核心）

- LR：低温通用；HR：高温工艺（CVD / 蚀刻）；UR：超高温防结露

- 内部特殊防腐涂层、氦气密封屏蔽电机，耐刻蚀腐蚀性气体

- 应用：晶圆刻蚀、薄膜沉积、硅晶体生长、粉末工艺排气

### 3. CR 风冷紧凑型干泵

整机一体化风冷，无需冷却水，中小型镀膜、真空炉批量配套

## 三、油式真空泵（经济型中高真空）

### 1. GLD/GCD 双级旋片油泵

- 实验室标配，极限真空 5×10⁻¹ Pa，噪音低、体积小

- SEM、蒸镀、真空包装、冷冻干燥、检漏配套前级泵

 2. PKS 大型活塞油旋泵

重工业大抽速，真空热处理、大型真空炉、大型镀膜机主泵

## 四、高 / 超高真空主泵（搭配前级泵使用）

### 1. UTM 涡轮分子泵

- 磁悬浮 / 轴承式，超高真空 10⁻⁷~10⁻⁹ Pa，PVD、电子束蒸镀、科研分析

 2. CRYO-U 低温冷泵（Cryo 泵）

- 无油、无振动、ji高洁净度，半导体、光学镀膜、超高真空腔体主力

 3. BW 系列油扩散泵

低成本高真空，传统蒸发镀膜、小型实验室高真空系统

五、成套真空机组

VPC/VFR/VTR 一体化真空排气单元，集成前级泵 + 分子泵 + 控制仪表，开箱即用，小型实验镀膜、样品制备专用

 六、典型行业应用

1. **半导体**：HR/UR 干泵、分子泵、冷泵，刻蚀、CVD、PVD、晶圆检测

2. **锂电 / 光伏**：LS/NRL 干式泵，极片涂布、真空烘烤、烧结炉

3. **光学镀膜**：DIS 涡旋泵 + UTM 分子泵 / 冷泵，光学镜片、ITO 膜蒸发

4. **实验室科研**：DA/DTC 隔膜泵、GLD 旋片泵、分子泵机组（电镜、质谱）

5. **化工制药**：DTC 耐腐蚀泵、干式螺杆泵，溶剂脱泡、真空浓缩

6. **通用工业**：DOP 活塞泵、油旋片泵，真空吸附、包装、热处理