爱发科（ULVAC）真空泵核心优势

爱发科是全球少数全真空链条自研厂商，从小型隔膜泵、旋片油泵、干式螺杆 / 涡旋泵，到分子泵、低温泵、真空计全套自产，覆盖实验室、镀膜、半导体、锂电全场景，对比国产、欧美其他品牌优势集中在技术、洁净、耐用、节能、本土化售后、全系列适配六大维度：

一、产品线全，一站式真空解决方案（行业du有）

1. 覆盖粗真空→中真空→高真空→超高真空全区间：

• 粗真空：DA/DTC 隔膜泵、DOP 活塞干泵；

• 中真空：GLD/VD 旋片油泵、DIS 涡旋干泵、LS/NRL 螺杆干泵；

• 高真空：UTM 涡轮分子泵机组；

• 超高真空：CRYO 低温泵、扩散泵。

2. 同品牌泵组匹配度ji高，腔体、法兰、控制逻辑统一，不用跨品牌适配，整机故障率更低；

3. 细分工况专用型号齐全：耐腐蚀 DTC、半导体防腐 HR 干泵、节能 LS-C、磁力无泄漏 GHD 油泵、实验室静音 DIS 涡旋泵，其他品牌很难做到细分全覆盖日本爱发科...。

二、du有核心技术，性能先jin、能耗更低

1. 干式螺杆泵 ECO-SHOCK 节能zhuan利（LS 系列）

极限真空下自动降功率，小型号极限功耗低至 0.6kW，长期 24h 产线运行电费显著节省；特殊螺杆型线，大气压抽速提升 20%，腔体抽气更快，缩短生产节拍ULVAC SHOW...。

2. 磁力耦合旋片泵 GHD 无漏油结构

取消传统机械轴封，无磨损漏油点，che底杜绝油雾污染芯片 / 光学件；轴封易损件消失，维修周期翻倍，适合洁净实验室、镀膜设备。

3. DIS 涡旋无接触压缩

涡旋盘无物理摩擦，振动＜0.1mm、噪音＜55dB，适配电镜、质谱、精密光学设备；风冷免水冷，设备集成更简单。

4. 防腐干泵 HR/UR 半导体专用涂层

针对刻蚀、CVD 腐蚀性气体，泵腔特种防腐涂层 + 氦气屏蔽电机，耐卤素、酸碱蒸汽，同工况寿命比普通干泵高 3～5 倍，半导体行业标配。

5. GLD 油泵多重防回流设计

内置油逆流防止阀、大油箱降温结构，停机不会倒灌油污；标配大口径气镇，大量水蒸气、溶剂工况不易乳化，换油周期更长ULVAC Tech...。

三、洁净度分级wan善，适配精密gao端制程

1. 无油全干产品线（DIS、LS、DA、DTC）：气路零润滑油，无油雾返流，满足半导体、光学镀膜、锂电涂布、质谱等高洁净需求；

2. 防腐干式泵气路全 PTFE / 哈氏合金可选，无有机密封件挥发；

3. 油泵带气镇 + 防回流，普通镀膜、冻干不会污染工件；

4. 真空腔体内壁镜面抛光，粉尘、反应物不易附着，清洗维护简单。

四、低噪低振动，生产 / 实验室环境友好

• 螺杆干泵标配原厂消音器，极限压力噪音≤61dB (A)；

• 涡旋 DIS 系列低至 55dB，双级旋片 GLD 动平衡优化，震动极小；

• 对比国产干泵普遍 75dB 以上噪音，车间无需额外隔音改造，适合实验室、无尘车间。

五、耐用稳定，7×24 连续生产，维护成本低

1. 日系精密加工公差极小，螺杆、涡旋啮合间隙均匀，长期运行性能衰减慢；

2. 干泵无接触运动结构，磨损件极少，仅需定期更换进气滤芯；

3. 油泵大油箱散热好，油温低，真空泵油氧化慢，换油周期延长；

4. 内置过热、过载、油压保护，堵转 / 高温自动停机，降低烧泵风险；

5. 无弹簧旋片结构（大型 VS 系列），杜绝弹簧断裂停机故障，工业产线可靠性更强。

六、本土化生产 + wan善国内售后，备件交付快

1. 宁波爱发科国内大型生产基地，油泵、中小型干泵本土组装，日系品控，交期远短于纯进口欧美泵；

2. 上海总部、深圳、苏州分公司，全国多地维修服务中心；

3. 全系备件国内常备库存，不用海外订货，维修停机时间大幅缩短；

4. 原厂提供整机校准、保养、泵腔翻新、防腐涂层复涂一站式服务；

5. 大量设备厂商（镀膜机、半导体设备、锂电设备）原厂配套，备件通用性强，二手市场流通稳定。

七、适配多行业，通用性与定制化兼顾

1. 半导体：HR/UR 防腐干泵、UTM 分子泵、低温泵；

2. 光学镀膜：DIS 涡旋干泵 + GLD 油泵机组；

3. 锂电 / 光伏：LS 节能螺杆干泵，真空烘烤、涂布；

4. 实验室科研：DA 隔膜泵、GLD 油泵、小型分子泵；

5. 化工制药：DTC 耐腐蚀隔膜泵、干式螺杆；

6. 通用自动化：DOP 活塞泵，真空吸盘、贴合机。