ULVAC爱发科真空泵工作原理

ULVAC 真空泵分为隔膜泵、旋片油泵、涡旋干泵、螺杆干式泵、涡轮分子泵、低温泵六大主流类型，原理wan全不同，分开说明：

一、DA/DTC 隔膜真空泵（粗真空，无油）

原理

电机带动偏心轮驱动隔膜往复形变，腔体内形成容积周期性变化：

1. 隔膜上抬 → 泵腔容积变大、压力降低，进气阀打开，腔体气体被吸入；

2. 隔膜下压 → 泵腔容积缩小，内部压力升高，进气阀关闭、排气阀顶开，气体排出；

3. DTC 内部流道全 PTFE 氟塑料，耐溶剂腐蚀。

特点

极限真空约 1～10kPa，无油、洁净，无润滑油污染。

二、GLD/GCD 双级旋片油式真空泵（中真空）

核心结构

转子偏心置于定子腔，转子槽内装有两片可滑动旋片，腔体充满真空泵油。

工作流程

1. 转子旋转，旋片依靠离心力紧贴腔壁，分隔出独立密闭气室；

2. 气室经过进气口时容积扩大，吸入真空腔体气体；

3. 继续旋转，气室容积持续缩小，气体被压缩；

4. 压缩至高于大气压后推开排气阀排出；

5. 两级串联压缩，大幅提升真空度；泵油同时起到密封、润滑、降温、阻挡回流作用。

防回流设计

内置止回阀，停机防止机油倒灌进真空腔体。

极限真空

双级可达 5×10⁻¹ Pa。

三、DIS 无油涡旋干式真空泵（中真空洁净干泵）

原理

一对动、静涡旋盘相互啮合，形成多组月牙形密闭压缩腔：

1. 动涡旋做圆周平动，不自转，密闭腔由外向中心逐步移动；

2. 外侧腔体容积大，吸入气体；向中心移动过程中容积不断缩小，气体逐级压缩；

3. 中心高压区统一从排气口排出；全程无金属摩擦、无润滑油接触气体。

优势

振动小、噪音低，适合电镜、光学镀膜前级。极限真空 0.1Pa 级别。

四、LS/LR/HR 干式螺杆 / 罗茨螺杆干泵（工业主力干泵）

1. 螺杆干泵 LS 系列（含 ECO-SHOCK 节能款）

两根同步反向旋转的螺杆，齿槽相互啮合形成密封输送腔：

1. 进气端齿槽容积最大，吸入工艺气体；

2. 螺杆转动，气体向排气端推送，齿槽容积持续减小，实现无油干式压缩；

3. 气体全程不接触润滑油，适合锂电、镀膜、半导体；

4. ECO-SHOCK 节能机构：低真空保压阶段分流排气，降低压缩压差，减少电机功耗。

2. LR 罗茨螺杆机组（罗茨泵 + 螺杆前级组合）

罗茨泵为增压泵，两根 8 字形转子无接触旋转，仅输送气体、不压缩；后端搭配螺杆干泵作为前级，罗茨提高大流量抽速，螺杆承担压缩排气，多用于刻蚀、CVD 腐蚀性工艺。

五、UTM 涡轮分子泵（高 / 超高真空主泵，必须配前级泵）

原理

高速旋转动叶片 + 固定静叶片交错排列：

1. 动叶片高速旋转（数万转 / 分钟），依靠叶片动量撞击气体分子，给分子定向向下的速度；

2. 动静叶片逐级配合，把气体分子从前级侧推送出去；

3. 分子泵无法直接排大气，前端必须搭配旋片泵 / 涡旋干泵预抽至 1Pa 左右才能启动；

极限真空

搭配前级泵可达 10⁻⁷～10⁻⁹ Pa，用于 PVD、电子束设备、质谱。

六、CRYO-U 低温冷泵（超高真空洁净泵）

原理

内部制冷头降温至 10～20K 超低温：

1. 真空腔中气体分子碰到超低温冷板，直接低温凝结吸附；

2. 水汽、氮气、氧气全部凝固在冷头上，实现超高真空；

特点

无振动、无油、洁净度ji高，gao端光学、半导体晶圆工艺常用。