爱发科 DIS 系列无油涡旋干式真空泵核心特点

一、洁净无油，无介质污染

1. 泵腔全程无润滑油参与气体压缩，气路wan全干态，不会产生油雾返流；

2. 无油蒸汽污染腔体，适配光学镀膜、半导体 Loadlock、电镜、质谱、锂电真空烘烤等对洁净度要求高的工艺；

3. 无需真空泵油，不存在油品乳化、油挥发污染工件问题。

二、低震动、低噪音，环境友好

1. 动涡旋采用偏心平动结构，无往复冲击，整机动平衡优化，振动极小，不会干扰精密光学、检测仪器；

2. 标配内置消音结构，运行噪音约 50～55dB (A)，远低于螺杆干泵、旋片油泵；

3. 实验室、无尘车间、设备内置无需额外隔音装置。

三、结构简单，磨损件极少，维护轻松

1. 动静涡旋盘非接触式啮合，金属无摩擦，无旋片、无弹簧等易损耗   ling件；

2. 常规保养仅需定期更换进气滤芯，不用频繁换油、更换旋片；

3. 风冷一体化设计，无需外接冷却水，设备集成布线简单，小型自动化设备适配性强。

四、真空性能稳定，极限真空优秀

1. 单泵极限真空可达 0.1Pa 级别，可直接作为分子泵、低温冷泵理想前级；

2. 抽气曲线平稳，长时间连续运行真空衰减慢，适合间歇式腔体抽气（镀膜机进出料腔）；

3. 启停无油回流风险，对比旋片油泵省去防油倒灌配套管路。

五、体积小巧，安装灵活

1. 整机紧凑轻量化，立式、卧式均可安装，方便集成在小型设备机架内部；

2. 进气、排气接口标准通用，搭配真空过滤器、真空阀即可快速搭建前级真空单元。

六、适配工况与短板

适用场景

小型真空镀膜、扫描电镜 SEM、色谱质谱、真空脱泡、锂电池实验设备、等离子清洗、检漏仪前级。

局限性

1. 抽速偏小，不适合大腔体、大排气量工业产线（大流量选 LS 螺杆干泵）；

2. 不耐大量强腐蚀气体、高粉尘，腐蚀工况需加装前置耐腐蚀过滤装置；

3. 长时间大量水蒸气工况建议配套气镇过滤器，避免水汽积聚。

七、对比同品牌其他干泵差异化优势

1. 对比 LS 螺杆干泵：噪音、震动更低，体积更小，适合小型精密设备；但抽速更小，无 ECO-SHOCK 节能结构；

2. 对比 DA 隔膜泵：极限真空高出一个数量级，真空度更高，可做高真kong前级；

3. 对比 GLD 旋片油泵：无油洁净，无漏油、油污染隐患，维护周期更长。