爱发科 DIS 涡旋干式真空泵 应用领域

DIS 涡旋干泵主打无油洁净、低震低噪、中小型抽速，定位精密设备前级真空，分行业整理如下：

一、光学镀膜行业（最主流场景）

1. 光学镜片镀膜机 Loadlock 进出料腔前级泵

2. 手机盖板、AR/AF 镀膜、ITO 导电膜小型蒸镀设备

3. 光学镜头、滤光片、激光元件真空蒸镀、溅射设备优势：无油雾污染膜层，低振动不影响薄膜均匀性，风冷免水冷，设备集成简单。

二、半导体与微电子设备

1. 晶圆传送真空锁腔（Loadlock）预抽真空

2. 小型等离子清洗、等离子去胶设备前级

3. 半导体检测设备、探针台真空吸附单元

4. 小型薄膜沉积、实验室 PVD 小型样机优势：洁净无油，不会污染晶圆，低振动不影响精密对位。

三、分析仪器 / 实验室科研设备

1. 扫描电镜 SEM、透射电镜 TEM 标配前级泵

2. 气相色谱、质谱仪（GC-MS）、离子色谱真空系统

3. 实验室真空脱泡、真空干燥、样品冷冻干燥

4. 催化反应装置、气体配比实验真空腔体优势：噪音低、无油挥发，不干扰检测数据，实验室环境友好。

四、新能源锂电（实验室 / 小型设备）

1. 软包电池、纽扣电池实验室真空烘烤、注液前预抽

2. 小型锂电极片真空除水、实验型真空封装机

3. 氢燃料电池小型测试台真空腔体说明：量产大产线大流量工况多用 LS 螺杆干泵，DIS 仅用于实验室小样设备。

五、精密自动化与真空吸附

1. 小型贴合机、屏幕贴合、真空压合设备

2. 光学玻璃、PCB 板真空吸附搬运平台

3. 小型检漏仪配套前级真空源

六、医疗器械

1. 医疗器械真空镀膜、植入件表面处理设备

2. 病理冻干、小型真空灭菌设备

七、其他轻工行业

1. 小型真空包装、树脂脱泡、硅胶消泡

2. 首饰、装饰件小型真空镀色机

不适合使用 DIS 涡旋干泵的场景

1. 大腔体、大排气量产产线（优先 LS 螺杆干泵）；

2. 大量卤素、强酸、高粉尘强腐蚀工艺（选 HR/UR 防腐螺杆干泵）；

3. 持续大量水蒸气工况，需加装前置气镇过滤器。

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