荏原EBARA真空泵介绍

荏原（EBARA，荏原制作所）源自日本，半导体干式干泵领域全球主流品牌，国内由**上海荏原精密机械**负责真空业务，主打**无油干式真空泵（Dry Pump）**，同时也有水封泵、分子泵等产品，**半导体、FPD、光伏是核心应用行业**上海荏原精...。

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> 核心特点：**无油、无污染、耐腐蚀可选、智能变频节能、符合 SEMI-S2 半导体安全标准**，泵腔转子非接触式，没有油返流污染工艺腔体，是晶圆厂 Load-Lock、刻蚀、沉积设备标配干泵。

 一、主流干式真空泵系列（半导体zui常用）

 1. EV-S 系列｜轻负荷紧凑型罗茨干泵

- 定位：洁净 / 轻度腐蚀工艺，Load-lock、SEM、量测设备

- 特点：体积小、轻量化、低功耗，支持怠速休眠节能；**P 型号带氮气吹扫，N 型为镍合金耐腐版本**；水冷，不受 50/60Hz 电源频率影响性能EBARA CORP...

- 极限真空：约 0.5 Pa

  2. EV-X 系列｜中小型风冷一体化干泵

- 定位：中负荷，半导体刻蚀、PVD，设备 OEM 内置

- 特点：**风冷无需冷却水**，安装成本低；模块化小型化、低噪音；荏原新一代节能干泵，适合 fab 设备 subfab 狭小空间上海荏原精...

 3. EV-M 系列｜重制程多级罗茨干泵

- 定位：苛刻工艺 ALD、LPCVD、PECVD、MOCVD，大量反应副产物场景

- 特点：多级罗茨结构，氢气抽速优于螺杆泵；智能按需扭矩、温控；可选镍合金防腐，适合高粉尘、腐蚀性工艺气体EBARA

 4. EST 系列｜螺杆式重腐蚀干泵

- 定位：强腐蚀、粉末副产物（如 SiH4 反应粉尘）

- 特点：独立螺杆结构，泵体采用 NiResist 耐蚀铸铁；耐高温、处理含粉末废气能力强；LCD、光伏、半导体重制程shou选EBARA

  5. ESA 系列｜大流量罗茨干泵（大腔室、轻气体）

- 定位：MOCVD、LCD 溅射、大型 Load Lock、真空干燥、氢气等轻质气体抽取

- 特点：大转子设计，大腔体快速抽真空；耐腐材质可选，有机废气排气配置可选，抽速覆盖 1400~80000 L/minEBARA CORP...

 6. ESR 系列｜节能多级罗茨干泵

- 定位：洁净～中腐蚀通用工艺

- 特点：DC 无刷电机，宽范围可变抽速，自带数据存储、报警记录；N 型号带氮气轴封防腐，抽速 1300~46000 L/min上海荏原精...

  7. EV-PA 小型风冷干泵

- 微型便携款，单相 AC100~240V，无需冷却水；质谱仪、检漏仪、实验室分析设备使用荏原製作所

  二、其他产品线

1. **涡轮分子泵 EBT / EMT / MK 系列**：高真空、超高真空，磁悬浮轴承，用于分析仪器、UHV 超高真空腔体、半导体gao端镀膜

2. **NV / NVD 水封真空泵**：工业通用水环泵，可抽含水蒸气介质，用于真空脱水、脱气、化工普通真空，极限真空约 - 93.3kPa