荏原EBARA干式真空泵有哪些型号

  1. EV-S 系列｜紧凑型水冷罗茨干泵（轻制程）

细分型号：EV-S06、EV-S10、EV-S16、EV-S20、EV-S30、EV-S40、EV-S60

- 后缀说明：**P = 带氮气吹扫；N = 镍合金防腐 + 氮气吹扫**

- 用途：Load-lock、SEM、量测设备，洁净轻腐蚀工艺

  2. EV-X 系列｜中小型风冷一体化罗茨干泵（中负荷）

代表型号：EV-X40、EV-X60、EV-X80、EV-X100

- 风冷、无需冷却水，OEM 设备内置，subfab 狭小空间，刻蚀 / PVD 等中等负荷制程.

  3. EV-M 系列｜水冷多级罗茨重制程干泵

代表型号：EV-M200、EV-M300、EV-M400、EV-M600、EV-M800

- 可选镍合金 / 镍涂层防腐；适配 ALD、LPCVD、PECVD、MOCVD，大量反应副产物场景.

 4. EST 系列｜水冷螺杆式干泵（强腐蚀 + 粉尘）

代表型号：EST40、EST80、EST120、EST200

- NiResist 耐蚀铸铁螺杆结构，擅长 SiH₄等产生粉末的重腐蚀工艺，LCD / 光伏 / 半导体重制程选荏原

  5. ESR 系列｜节能型水冷多级罗茨干泵（通用中腐蚀）

代表型号：ESR130、ESR200、ESR300、ESR400、ESR600、ESR800

- DC 无刷电机，宽范围变频抽速，自带报警日志；N 版本带轴封氮气吹扫防腐

  6. ESA 系列｜大流量水冷罗茨干泵（大腔体、氢气抽取）

代表型号：ESA15-D、ESA25-D、ESA70W、ESA70WN、ESA80W、ESA80WN、ESA100W、ESA200W、ESA300W、ESA500W

- WN 代表耐腐材质版本；MOCVD、大型 Load Lock、OLED 溅射，氢气轻质气体优势明显

  7. EV-PA 系列｜小型风冷干式真空泵（通用工业 / 实验室）

型号：EV-PA50、EV-PA250、EV-PA500

- 单相 AC100~240V，便携小型，质谱仪、检漏仪、镀膜、医疗、分析仪器使用荏原製作所