薄膜沉积技术的应用领域有哪些

 半导体与集成电路（最大应用场景）

芯片制造核心工序，反复沉积介质、半导体、金属薄膜IEEE Techn...

• 逻辑芯片、存储芯片（DRAM/NAND、NOR）：栅介质、高 k 层、金属互连层、阻挡层、钝化层

• 功率器件（IGBT、SiC/GaN 宽禁带）：绝缘层、钝化、电极

• MEMS 微机电：加速度计、麦克风、微流控结构薄膜

工艺：LPCVD、PECVD、PVD 溅射、ALD（先进制程刚需）

2. 光电显示行业

• LCD/OLED、Mini/Micro LED：TFT 薄膜晶体管、ITO/IZO 透明导电电极、封装阻隔膜、发光功能层、反射层

• 触摸屏、柔性屏：柔性基底上的导电与钝化膜

工艺：磁控溅射、PECVD

3. 光伏新能源

• 晶硅光伏：钝化膜、减反膜、透明导电膜（AZO/ITO）

• 薄膜光伏（CIGS、CdTe、钙钛矿电池）：吸收层、缓冲层、电极

工艺：溅射、CVD、蒸发

4. 光学薄膜（光学镀膜）

镜头、激光镜片、光纤、光学窗口、滤光片、AR 增透膜、HR 高反膜、分光膜、窄带滤光片、车载 HUD、光学棱镜

工艺：电子束蒸发、溅射

5. 硬质耐磨 & 防腐涂层（机械加工、模具）

刀具、钻头、模具、轴承、汽车零部件：TiN、TiCN、DLC 类金刚石涂层，提升耐磨、抗腐蚀、低摩擦

• 还有装饰镀膜：五金、卫浴、手机外壳彩色 PVD 镀层

工艺：电弧离子镀、磁控溅射（PVD 为主）

6. 传感器

气体传感器、光电传感器、生物传感器、压力传感器：敏感薄膜、电极、钝化层、隔离层；很多 MEMS 传感器同时归到这一类

ALD 很适合多孔、高比表面积敏感结构

7. 储能（电池、固态电池）

固态电池电解质薄膜、极表面修饰、隔膜保护层、超级电容电极涂层；ALD 用于精准包覆颗粒，抑制副反应

ALD、PECVD

8. 医疗生物

植入物（钛合金假体）生物相容涂层、抗菌膜、手术器械耐磨涂层、生物芯片、微流控芯片表面改性

PVD、ALD

9. 磁存储

硬盘 HDD 磁头、磁盘磁记录薄膜、磁性多层膜

磁控溅射

10. 航天、汽车、特种防护

耐高温、隔热、防氧化、抗原子氧涂层；车灯、传感器外窗镀膜